维信诺两条G6全柔AMOLED产线将于本月点亮

维信诺官方微信今日公布，维信诺（合肥）G6全柔AMOLED生产线点亮仪式暨维信诺创新大会将于12月7日在合肥举行。

另外，广州首条全柔AMOLED模组生产线将于下月在广州试投产，穗产第一块此类柔性曲面屏幕，有望在12月18日点亮。

柔性模组技术是柔性显示产业链的重要一环，也是屏幕厂商提升产品效能的关键，该项目计划总投资112亿元，规划年产能将达5000万片，对正在打造“世界显示之都”的广州意义重大。

这块屏幕产自位于广州市增城区的维信诺科技股份有限公司第6代柔性AMOLED模组生产线，总部在北京的维信诺是中国大陆第一家OLED产品供应商，上述生产线2019年落户广州。

“公司计划12月18日举行首块屏幕点亮仪式，2021年1月量产。”该公司政务经理吴秀丽透露，“项目2020年3月拿地，8月封顶，12月即试投产，广州‘当年拿地、当年开工、当年竣工、当年试产’的‘放管服’改革举措大大提高了企业抢占市场的效率。”

ASML（阿斯麦）已基本完成1nm光刻机设计 计划在2022年商用

摩尔定律还没有结束。日媒报道，由于新型冠状病毒的传播，近期日本ITF于11月18日在日本东京举行了网上发布会。IMEC公司首席执行官兼总裁Luc Van den hove首先发表了主题演讲，介绍了公司研究概况，他强调通过与ASML公司紧密合作，将下一代高分辨率EUV光刻技术——高NA EUV光刻技术商业化。IMEC公司强调，将继续把工艺规模缩小到1nm及以下。

包括日本在内的许多半导体公司相继退出了工艺小型化，声称摩尔定律已经走到了尽头，或者说成本太高，无利可图。

在日本众多光刻工具厂商纷纷退出EUV光刻开发阶段的同时，半导体研究机构IMEC和ASML一直在合作开发EUV光刻技术，而EUV光刻技术对于超细鳞片来说至关重要。

IMEC发布低至1nm及以上的逻辑器件路线图

在ITF Japan 2020上，IMEC提出了3nm、2nm、1.5nm以及1nm以下的逻辑器件小型化路线图。

▲IMEC的逻辑器件小型化路线图

上行技术节点名称下标注的PP为多晶硅互连线的节距（nm），MP为精细金属的布线节距（nm）。需要注意的是，过去的技术节点指的是最小加工尺寸或栅极长度，现在只是“标签”，并不指某一位置的物理长度。

这里介绍的结构和材料，如BPR、CFET和使用二维材料的通道等，已经单独发表。

EUV的高NA对进一步小型化至关重要

据台积电和三星电子介绍，从7nm工艺开始，部分工艺已经推出了NA=0.33的EUV光刻设备，5nm工艺也实现了频率的提高，但对于2nm以后的超精细工艺，需要实现更高的分辨率和更高的光刻设备NA（NA=0.55）。

▲符合逻辑器件工艺小型化的EUV光刻系统技术路线图

据IMEC介绍，ASML已经完成了作为NXE:5000系列的高NA EUV曝光系统的基本设计，但商业化计划在2022年左右。这套下一代系统将因其巨大的光学系统而变得非常高大，很有可能顶在传统洁净室的天花板下。

▲当前EUV光刻系统（NA=0.33）（正面）与下一代高NA EUV光刻系统（NA=0.55）（背面）的尺寸比较。

ASML过去一直与IMEC紧密合作开发光刻技术，但为了开发使用高NA EUV光刻工具的光刻工艺，在IMEC的园区里成立了新的“IMEC-ASML高NA EUV实验室”，以促进共同开发和开发使用高NA EUV光刻工具的光刻工艺。该公司还计划与材料供应商合作开发掩模和抗蚀剂。

Van den hove最后表示：“逻辑器件工艺小型化的目的是降低功耗、提高性能、减少面积、降低成本，也就是通常所说的PPAC。除了这四个目标外，随着小型化向3nm、2nm、1.5nm，甚至超越1nm，达到亚1nm，我们将努力实现环境友好、适合可持续发展社会的微处理器。”他表示，将继续致力于工艺小型化，表现出了极大的热情。

凯盛科技拟新增4981万元投建UTG超薄柔性玻璃项目

11月30日，凯盛科技发布《关于投资建设超薄柔性玻璃（UTG）一期项目的公告》表示，为紧跟近期柔性和折叠终端发展趋势以及市场需求，公司拟在现有中试线的基础上，再新增投资4981万元，建设超薄柔性玻璃（UTG）一期项目，量产6-8寸30μm—70μm超薄柔性玻璃（UTG）。

项目建成后，将与中试线产能共同形成一定规模，达产后预计将实现收入超 3 亿元（产能及售价等涉及商业机密信息，不进行披露）。凯盛科技也将根据未来市场发展需求及时布局后续产能提升计划。

此外，为加快建设进度，项目拟租用中国玻璃新材料科技产业园内已有的约7000平方米厂房及净化车间，新购置原片加工、UTG玻璃薄化、成型、边缘处理、化学强化等全套生产线，与已建成的实验室和中试线联通，量产30μm—70μm超薄柔性玻璃（UTG）；项目将在中试线基础上开展自动化升级和量产工艺提高，以满足产能和良率提升需求。

据了解，建设项目选址地为安徽省蚌埠市“中国玻璃新材料科技产业园”内，项目新增规模总投资4981万元，包括建设投资4604万元，建设期利息77万元，流动资金300万元。预计2021年上半年具备供货能力，待项目建成后预计形成收入超过3亿元。

凯盛科技强调，本项目完成后可能会因原材料采购而增加公司的关联交易，公司将严格依据关联交易审议程序，确保关联交易价格公允合理，不会损害公司或公司其他股东的利益。本项目不存在同业竞争问题。