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先进薄膜与微结构表面力学性能测试系统，用于显示材料表面各种材质薄膜的力学性能测试，以及膜层间结合力测试。设备还可搭配温度、气氛控制器，实现多样化测试。

大样品、全探针闭环扫描的低噪声和低热漂移原子力显微镜系统，可用于石墨烯等材料及器件的形貌、电学、电化学、力学、热学等性质测量。设备的大样品台空间可提供外加磁场、光场、探针台、拉曼、拉伸台等多场耦合测试。可用于LTPS、OLED、Micron-LED等的表面和微纳结构测量。

全自动三维形貌测量平台，采用非接触干涉原理精确测量样品表面三维形貌，获得粗糙度、关键尺寸：如Photo Spacer的直径和高度以及蒸镀和喷墨打印OLED膜层厚度等数据，也可用于表面缺陷的观测。获得的结果准确、可重复、可溯源。